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首頁 > 產品中心 > CIF材料表面處理儀器 > CIF勻膠機 > MSC/SC1/2CIF勻膠旋涂儀

CIF勻膠旋涂儀

簡要描述:CIF 推出的旋涂機系列產品轉速穩定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結構緊湊實用,為實驗室提供了理想的解決方案。

  • 產品型號:MSC/SC1/2
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-03-26
  • 訪  問  量:7106

詳細介紹

品牌CIF

產品特點

◆  采用閉環控制伺服電機,數字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長,保證勻膠均勻。

  7 寸全彩中英文互動操作觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配 10 個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置 , 選配 20 個可編程程序,每個程序下可設置 10 個勻膠梯度階段,最多 100 個階段。

  內置水平校準裝置,大限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規格的基片進行旋涂。

◆  多重安全保護電磁安全開關,蓋子打開卡盤停止,保證安全;蓋子自鎖功能,防止飛片蓋彈開傷人;

雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,大限度保證實驗人員安全。

◆  樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護,有效降低電機進膠的風險。

◆  一機兩用,根據不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

◆  符合人體功能學的水平取放樣品旋涂托盤設計,取放樣品更方便。

  不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,旋涂腔體采用 PTFE 材料。旋涂托盤采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸堿防腐蝕,保證儀器 在苛刻條件下仍能正常運行。

◆  上下雙腔體設計,較大的上腔體便于擦拭去除膠液,錐形下腔體結構設計便于收集膠液,并帶廢膠收集裝置。

◆  可選氮氣吹掃、氮氣保護,自動滴膠或簡易滴膠裝置,提供更多的操作便利性。

◆  適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。

 技術參數

 

型號

MSC

SC1

SC2

轉速

0-10000rpm

0-10000rpm

0-10000rpm

加速度

0-10000rpm/s

0-10000rpm/s

0-10000rpm/s

轉速穩定度

±1%

±1%

±1%

勻膠時間

0-9999s

0-9999s

0-9999s

工作艙直徑

直徑 180mm

直徑 180mm

直徑 240mm

基片尺寸

圓片 Φ=6 吋,方片最大 105x105mm

圓片 Φ=6 吋,方片最大 105x105mm

圓片 Φ=8 吋,方片最大 140x140mm

外型尺寸

L245xW325xH215mm

L245xW325xH285mm

L305xW385xH285mm

包裝尺寸

L365xW445xH335mm

L365xW445xH405mm

L425xW505xH405mm

整機重量

6.3Kg

7.6Kg

11.6Kg

 

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